高感度化フォトレジスト材料の
合成・設計・開発技術
~分子設計・合成方法と最新型EUV用レジスト材料の研究動向~
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EUV用レジスト材料など更なる高感度化が求められる新規レジスト材料の開発
メタルレジスト、化学増幅型レジスト、非化学増幅型レジスト材料、、、、
EUV露光システムの能力を十分に引き出せるレジスト材料の合成・設計・開発
高分子・低分子化合物のレジスト材料に関する基礎や評価方法を解説
日時 | 【ライブ配信】 2024年12月17日(火) 10:30~16:30 |
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配布資料 | 製本資料(開催日の4、5日前に発送予定)) ※開催まで4営業日~前日にお申込みの場合、セミナー資料の到着が、 開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。 | |||
オンライン配信 | ライブ配信(Zoom) ►受講方法・接続確認(申込み前に必ずご確認ください) アーカイブ配信 ►受講方法・視聴環境確認(申込み前に必ずご確認ください) | |||
備考 | ※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。 ※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。 | |||
得られる知識 | レジスト材料の合成方法、評価方法、開発方法 | |||
対象 | レジスト材料の開発に関する研究にご興味がある方 | |||
キーワード:レジスト材料、化学増幅型レジスト、非化学増幅型レジスト、EUV用レジスト材料、高感度化レジスト材料 |
セミナー講師
【講師紹介】
セミナー趣旨
本テーマでは、これまで開発されてきたレジスト材料の基本的な構造を紹介しながら、レジスト材料の合成方法について、基本的な合成方法から最新の合成例について解説する。さらに、分子レジストや化学増幅型レジストの原理や合成方法について解説し、EUV用レジスト材料の研究開発例を紹介し、それらの問題点、および今後の分子設計方法について解説する。
セミナー講演内容
1.1 原理
1.2 合成例
1.3 最新の化学増幅型
2.ポジ型レジスト材料
2.1 材料的な特性
2.2 主な応用・用途
3.ネガ型レジスト材料
3.1 材料的な特性
3.2 主な応用・用途
4.高分子レジスト材料と低分子レジスト
4.1 材料的な特性
4.2 主な応用・用途
5.EUV用レジスト材料の評価方法と開発方法の実例
5.1 レジスト材料の評価項目,評価手法について
5.2 レジスト材料の評価方法と開発例
6.最新型EUV用レジスト材料
6.1 メタルレジスト
6.2 化学増幅型レジストと非化学増幅型レジスト材料
7. 質疑応答
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