O241113:【オンデマンド配信】PFAS規制の動向と半導体産業へ影響 | 技術セミナーの開催・書籍出版　サイエンス＆テクノロジー＜Ｓ＆Ｔ＞

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【オンデマンド配信】
PFAS規制の動向と半導体産業へ影響

～半導体製造工程におけるPFAS使用工程と対応状況～

【半導体産業応援キャンペーン対象セミナー】3名以上のお申込みでさらにおトク

いまや半導体デバイスの製造に欠かせない有機フッ素化合物（PFAS）
強化され続けているPFAS規制は半導体産業、半導体業界にどんな影響を与えているのか、今後与えるのか
現在の対応状況、今後はどのように備えればいいのか、PFASが半導体製造工程においてどのように使われているかも解説
半導体の技術、市場のトレンドとPFAS規制の関係、PFAS処理と代替材料の動向、
　半導体デバイスメーカー、半導体製造装置メーカー、半導体部材メーカーの取り組み状況、、、

日時

2024年12月26日（木） 23:59まで申込み受付中／　※映像時間：約2時間43分

収録日時

2024年8月30日

受講料(税込)

各種割引特典

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定価：本体45,000円＋税4,500円

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※ご質問の内容や時期によっては、ご回答できない場合がございますのでご了承下さい。

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備考

※録音・撮影、複製は固くお断りいたします。
※講師の所属などは、収録当時のものをご案内しております

キーワード：PFAS、半導体、前工程、後工程、配管材料

セミナーリクエスト

セミナー講師

(株)ISTL　代表取締役社長　博士(工学)　礒部晶　氏

略歴
1984年－2002年　NECにてLSI多層配線プロセス開発
2002年－2006年　東京精密(株)にて執行役員CMPグループリーダー
2006年－2013年　ニッタハースにて研究開発GM
2013年－2015年　(株)ディスコにて新規事業開発
2015- (株)ISTL

セミナー趣旨

　有機フッ素化合物（PFAS）の規制がますます強まっており、一般のニュースでも目にすることが多くなった。PFASとはどういう物質で、どのような性質を持ち、なぜ規制されるのかについて解説する。また、ストックホルム条約（POPｓ条約）および各国の規制動向についても解説する。半導体製造にも様々な工程でPFASが用いられている。それぞれの工程の内容となぜPFASが用いられているかを解説する。また、強まる規制に対して、装置・材料メーカーやデバイスメーカーが、どのように対応が行われているかについても述べる。

セミナー講演内容

1．PFASとは
　1-1 PFAS関連のニュース
　1-2 PFASの種類と性質
　1-3 PFASの用途

2．PFAS規制の動向
　2-1 POPｓ条約
　2-2 日本の規制動向
　2-3 欧州の規制動向
　2-4 米国の規制動向

3．半導体製造におけるPFAS使用工程（前工程）
　3-1 半導体製造方法（前工程）の基礎
　3-2 リソグラフィー
　3-3 ウエットエッチング
　3-4 ドライエッチング
　3-5 配管材料等

4．半導体製造におけるPFAS使用工程（後工程）
　4-1 半導体製造方法（前工程）の基礎
　4-2 テープ・フィルム類
　4-3 モールド材
　4-4 基板層間膜

5．PFAS処理と代替材料の動向
　5-1 製品ライフサイクルと人体・環境への影響
　5-2 廃液処理の現状
　5-3 PFASの分析方法
　5-4 代替材料開発動向
　5-5 装置・材料メーカー、デバイスメーカーの対応状況

6．まとめ

セミナーリクエスト

セミナーセミナー番号:O241113(【オンデマンド】半導体PFAS)

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