HfO₂系強誘電体の基礎と半導体デバイス応用
-不揮発性メモリ・FeFET・次世代トランジスタへの展開-
~強誘電体の基礎から、HfO₂系の特徴・従来材料との比較、薄膜の作製・デバイス応用まで~
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CMOSプロセスとの高い親和性やスケーリング可能性を有する材料として、半導体デバイスへの応用で注目されるHfO₂系強誘電体材料。
強誘電体の基礎から、不揮発性メモリ応用と求められる強誘電体の物性、HfO₂系強誘電体材料の特徴と従来材料との比較、HfO₂系強誘電体薄膜の作製手法と特性例、FeFETや負性容量トランジスタ、ニューロモルフィックコンピューティングなどへの応用まで解説します。
| 日時 | 2026年4月20日(月) 13:00~16:30 |
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|---|---|---|
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受講料(税込)
各種割引特典
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49,500円
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定価:本体45,000円+税4,500円
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定価:本体36,000円+税3,600円 E-Mail案内登録価格:本体34,400円+税3,440円 ※1名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。 ※申込フォームで【テレワーク応援キャンペーン】を選択のうえお申込みください。 ※他の割引は併用できません。 |
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| 特典 | ■ライブ受講に加えて、見逃し配信でも1週間視聴できます■ 【見逃し配信の視聴期間】2026年4月21日(火)~4月27日(月)まで ※このセミナーは見逃し配信付きです。セミナー終了後も繰り返しの視聴学習が可能です。 ※ライブ配信を欠席し見逃し視聴のみの受講も可能です。 ※動画は未編集のものになります。 ※視聴ページは、開催翌営業日の午前中には、マイページにリンクを設定する予定です。 | |
| 配布資料 | PDFテキスト(印刷可・編集不可) ※開催2日前を目安に、弊社HPのマイページよりダウンロード可となります。 | |
| オンライン配信 | Zoomによるライブ配信 ►受講方法・接続確認(申込み前に必ずご確認ください) | |
| 備考 | ※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。 ※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。 | |
| 得られる知識 | ・強誘電体の基礎とHfO2系強誘電体の特徴 ・半導体メモリの動作原理 ・HfO2系強誘電体のエレクトロニクス応用 | |
| 対象 | ・これから強誘電体材料、強誘電体デバイス、半導体メモリ等に従事される方 ・HfO2系強誘電体に興味をお持ちの方 | |
セミナー講師
セミナー趣旨
本セミナーでは、最初に強誘電体の基礎とHfO₂系強誘電体材料の特徴について解説する。次にエレクトロニクス応用について、キャパシタ型とトランジスタ型不揮発性メモリの動作原理を解説し、使用する強誘電体に要求される物性について議論する。次にHfO₂系強誘電体薄膜の作製例、デバイス応用例を紹介し、最後に不揮発性メモリ以外の応用展開について述べる。
セミナー講演内容
1.1 強誘電体の電気的特性
1.2 分極反転機構
2.強誘電体の不揮発性メモリ応用
2.1 半導体メモリの基本構成
2.2 キャパシタ型およびトランジスタ型強誘電体メモリの動作原理
2.3 強誘電体に要求される物性
3.HfO₂系強誘電体
3.1 歴史的背景
3.2 従来の強誘電体材料との比較
3.3 CMOSプロセスとの親和性
4.HfO₂系系系強誘電体薄膜の作製と特性例
4.1 HfO₂系強誘電体薄膜の作製手法
4.2 結晶相制御の重要性
5.HfO₂系強誘電体のデバイス応用例
5.1 強誘電体ゲートトランジスタ
6.不揮発性メモリ以外の応用展開への期待
6.1 負性容量を用いたスティープスロープトランジスタ
6.2 ニューロモルフィックコンピューティングへの応用
□ 質疑応答 □
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