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PFAS規制の動向と半導体産業へ影響

~半導体製造工程におけるPFAS使用工程と対応状況~

受講可能な形式:【ライブ配信】or【アーカイブ配信】のみ
【半導体産業応援キャンペーン対象セミナー】3名以上のお申込みでさらにおトク 
いまや半導体デバイスの製造に欠かせない有機フッ素化合物(PFAS)
強化され続けているPFAS規制は半導体産業、半導体業界にどんな影響を与えているのか、今後与えるのか
現在の対応状況、今後はどのように備えればいいのか、PFASが半導体製造工程においてどのように使われているかも解説
半導体の技術、市場のトレンドとPFAS規制の関係、PFAS処理と代替材料の動向、
 半導体デバイスメーカー、半導体製造装置メーカー、半導体部材メーカーの取り組み状況、、、、
日時 【ライブ配信】 2024年8月30日(金)  13:00~16:00
【アーカイブ配信】 2024年9月17日(火)  まで受付(視聴期間:9/17~10/2)
受講料(税込)
各種割引特典
49,500円 ( E-Mail案内登録価格 46,970円 ) S&T会員登録とE-Mail案内登録特典について
定価:本体45,000円+税4,500円
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1名申込みの場合:受講料37,400円( E-Mail案内登録価格 35,640円) 
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※1名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
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【半導体産業応援キャンペーン対象セミナー】3名以上のお申込みでさらにおトク

3名以上のお申込みで1名あたり:受講料 22,000円
 本体20,000円+税2,000円(1名あたり)
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配布資料PDFデータ(印刷可・編集不可)
※開催2日前を目安に、S&T会員のマイページよりダウンロード可となります。
※アーカイブ配信受講の場合は配信開始日からダウンロード可となります。
オンライン配信ZoomによるLive配信 ►受講方法・接続確認(申込み前に必ずご確認ください)
アーカイブ配信 ►受講方法・視聴環境確認(申込み前に必ずご確認ください)
備考※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。
キーワード:PFAS、半導体、前工程、後工程、配管材料

セミナー講師

(株)ISTL 代表取締役社長 博士(工学) 礒部 晶 氏
【講師紹介】

セミナー趣旨

 有機フッ素化合物(PFAS)の規制がますます強まっており、一般のニュースでも目にすることが多くなった。PFASとはどういう物質で、どのような性質を持ち、なぜ規制されるのかについて解説する。また、ストックホルム条約(POPs条約)および各国の規制動向についても解説する。半導体製造にも様々な工程でPFASが用いられている。それぞれの工程の内容となぜPFASが用いられているかを解説する。また、強まる規制に対して、装置・材料メーカーやデバイスメーカーが、どのように対応が行われているかについても述べる。

セミナー講演内容

1.PFASとは
 1-1 PFAS関連のニュース
 1-2 PFASの種類と性質
 1-3 PFASの用途

2.PFAS規制の動向
 2-1 POPs条約
 2-2 日本の規制動向
 2-3 欧州の規制動向
 2-4 米国の規制動向

3.半導体製造におけるPFAS使用工程(前工程)
 3-1 半導体製造方法(前工程)の基礎
 3-2 リソグラフィー
 3-3 ウエットエッチング
 3-4 ドライエッチング
 3-5 配管材料等

4.半導体製造におけるPFAS使用工程(後工程)
 4-1 半導体製造方法(前工程)の基礎
 4-2 テープ・フィルム類
 4-3 モールド材
 4-4 基板層間膜

5.PFAS処理と代替材料の動向
 5-1 製品ライフサイクルと人体・環境への影響
 5-2 廃液処理の現状
 5-3 PFASの分析方法
 5-4 代替材料開発動向
 5-5 装置・材料メーカー、デバイスメーカーの対応状況 

6.まとめ

質疑応答