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May 8, 2017
講師紹介
氏名
鈴木 一明
会社・団体
東京科学大学
所属
総合研究院 ゼロカーボンエネルギー研究所
役職
研究院
学位
博士（工学）
略歴
[学歴]・ ～1984年3月まで：プラズマ物理（学部）、X線天文学（大学院）を専攻
[職歴]・1984年4月～2019年2月：(株)ニコン
ー KrFステッパ、KrFスキャン、電子線、
EUV等の新コンセプトの半導体投影露光装置や産業用X線CT装置の開発
・2011年～2014年：Nikon Metrology のChief Strategy Officerとして英国赴任
[アカデミア] ・2019年3月～2025年3月：東京工業大学 物質・情報卓越教育院 産学協創教育コーディネーター
（2024.10 大学統合により東京科学大学に大学名変更）
・ 2025年4月～現在： 東京科学大学 総合研究院 ゼロカーボンエネルギー研究所 研究員
[兼任]・2021年～2023年：成城大学 社会イノベーション学部 非常勤講師
・2023年1月～現在：九州大学 プラズマナノ界面工学センター アドバイザー（兼任）
[職歴]・1984年4月～2019年2月：(株)ニコン
ー KrFステッパ、KrFスキャン、電子線、
EUV等の新コンセプトの半導体投影露光装置や産業用X線CT装置の開発
・2011年～2014年：Nikon Metrology のChief Strategy Officerとして英国赴任
[アカデミア] ・2019年3月～2025年3月：東京工業大学 物質・情報卓越教育院 産学協創教育コーディネーター
（2024.10 大学統合により東京科学大学に大学名変更）
・ 2025年4月～現在： 東京科学大学 総合研究院 ゼロカーボンエネルギー研究所 研究員
[兼任]・2021年～2023年：成城大学 社会イノベーション学部 非常勤講師
・2023年1月～現在：九州大学 プラズマナノ界面工学センター アドバイザー（兼任）
専門
精密工学、半導体微細加工技術、X線非破壊検査技術
著書
“Microlithography -Science and Technology -” (CRC Press)（第２版2007、第３版2020）の編者
研究業績一覧
https://t2r2.star.titech.ac.jp/cgi-bin/researcherpublicationlist.cgi?q_researcher_content_number=CTT100806498&alldisp=1&tab_yf=2025
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