半導体・液晶製造、医薬品製造、フィルム製造等のクリーンルームでは、 静電気帯電による塵埃の吸着や静電気放電による電気回路パターンの損傷等の静電気障害が製品不良を引起し、大きな問題になっています。一般的に、クリーンルームでは帯電防止加工がされたクリーンルームウェアを着用することで静電気対策が行われます。しかし、それだけでは不十分なため、毎年痛ましい静電気事故発生が後を絶ちません。より根本的な対策として、学校教育で扱われない静電気発生の原理や性質をよく理解し、イオナイザーを中心とした設備面でも適切な対策を施せるようになることが効果的です。
　本セミナーでは、まず静電気の基礎知識について説明します。次に実際のクリーンルームでどのような静電気障害が起こるか、具体例に基づいて説明します。また、静電気対策に重要なイオナイザーについて、初めての方でも間違いのない選定ができるよう、除電原理はもちろん、イオナイザーの種類と特徴、適切な選定方法から除電性能評価方法まで、クリーンルームで使用するために十分な知識を１日で解説します。可燃性危険物を取り扱う防爆施設など、イオナイザーが使用できない場合に必要な、接地による静電気対策についても指導します。長年イオナイザーの開発に携わってきた講師が、静電気の基礎から説明します。静電気の初心者であっても、１日で上級者向けの静電気対策全般の広範囲な知識まで習得できるよう配慮しています。

１．はじめに

２．静電気の基礎
　2.1 動電気と静電気
　2.2 物質は電気エネルギーを持つ
　2.3 静電気はこうして現れる
　　（1）静電気発生
　　（2）静電気発生機構
　　（3）発生の原因
　　（4）静電誘導
　　（5）帯電列

３．半導体・液晶製造、医薬品製造等のクリーンルームにおける静電気障害
　3.1 静電気帯電の実態
　3.2 静電気障害
　　3.2.1 静電気帯電による静電気障害　浮遊微粒子汚染
　　3.2.2 静電気放電による静電気障害　静電破壊

４．半導体・液晶製造、医薬品製造等のクリーンルームにおける静電気対策
　4.1 静電気対策の方法
　　4.1.1 接地により静電荷を散逸させる方法（防爆施設等における静電気対策）
　　（1）帯電量、帯電性を評価するための主な物理量
　　（2）測定装置及び測定方法
　　（3）静電気対策と評価指標（目安）
　　　　1）導体の帯電防止
　　　　2）作業者の帯電防止
　　　　3）作業床の導電化
　　　　4）不導体の帯電防止
　　（4）防爆施設の各工程における静電気対策
　　4.1.2 イオナイザーからの空気イオンにより静電荷を中和する方法
　4.2 イオナイザーの除電原理
　4.3 イオナイザーの種類と特徴
　4.4 イオナイザーの選定方法及び使用上の注意点
　　4.4.1 イオナイザーの選定方法
　　4.4.2 イオナイザーの使用上の注意点
　4.5 イオナイザーの除電性能の評価方法
　　4.5.1 有効除電電流による性能評価
　　4.5.2 帯電プレートモニタによる性能評価
　4.6 クリーンルーム用イオナイザー
　　4.6.1 クリーンルームにおけるイオナイザーの問題点
　　4.6.2 シースエア式低発塵イオナイザー（コロナ放電式）
　　4.6.3 イオン化気流放出型イオナイザー（軟Ｘ線照射式）
　　　（1）液晶 カセット用イオン化気流放出型イオナイザー
　　　（2）チャンバー型無発塵イオナイザー（イオンカラム）
　　　（3）静電気対策用層流吹出口（イオンキューブ）
　　4.6.4 防爆型無発塵イオナイザー（軟X線照射式）
　　4.6.5 静電気対策の実施例

５．おわりに

質疑応答

標準実施時間　4時間