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講師紹介

氏名
笠嶋 悠司 氏
会社・団体
(国研)産業技術総合研究所　
所属
センシングシステム研究センター　複合センシングデバイス研究チーム　
学位
博士(工学)　
略歴
2010年独立行政法人産業技術総合研究所入所
(2015年4月の法改正に伴い現名称は国立研究開発法人産業技術総合研究所)
弊所入所以来、九州センターにおいて半導体量産ラインにおける製造効率向上に資するモニタリング手法の研究開発に取り組んでおります。具体的には、プラズマエッチング工程におけるパーティクル検出や異常放電検知など、量産現場で発生しているプロセス異常のその場検出手法やプロセス装置の状態モニタリング技術の研究開発を進めております。
専門
高電圧工学、プラズマ理工学

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