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May 8, 2017
講師紹介
氏名
山下 良之
会社・団体
（国研）物質・材料研究機構
所属
電子・光機能材料研究センター
役職
主幹研究員
学位
博士（理学）
略歴
1998年3月 大阪大学大学院基礎工学学研究科化学系化学専攻博士課程修了
1998年4月－2006年1月 東京大学物性研究所 助教にて表面上の分子の化学反応の素過程の解明に従事
2006年2月－ （国）物質・材料研究機構 SPRing-8オフィスにおいて半導体材料の放射光による物性解明に従事
2014年6月より半導体材料中欠陥の電子状態・原子構造解明に従事
2010年4月－ 九州大学工学府応用化学科准教授
2011年11月－2012年10月 CEA Leti（フランス原子力，電子情報研究所） 客員准教授
2015年6月－ 表面と真空誌 編集委員
1998年4月－2006年1月 東京大学物性研究所 助教にて表面上の分子の化学反応の素過程の解明に従事
2006年2月－ （国）物質・材料研究機構 SPRing-8オフィスにおいて半導体材料の放射光による物性解明に従事
2014年6月より半導体材料中欠陥の電子状態・原子構造解明に従事
2010年4月－ 九州大学工学府応用化学科准教授
2011年11月－2012年10月 CEA Leti（フランス原子力，電子情報研究所） 客員准教授
2015年6月－ 表面と真空誌 編集委員
専門
表面化学反応の素過程、放射光を用いて物質の物性解明
研究の内容・キーワード
EUVメタルレジストの反応メカニズム
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