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講師紹介

氏名
加藤 智久
会社・団体
(国研)産業技術総合研究所
所属
つくば西事業所　エネルギー・環境領域　先進パワーエレクトロニクス研究センター　ウェハプロセスチーム
役職
研究チーム長
学位
博士(工学)
略歴
1999年４月より工業技術新電子技術総合研究所にてSiC単結晶成長・ウェハ加工技術の開発に従事。
2010年度 NEDO「低炭素社会を実現する次世代パワーエレクトロニクスプロジェクト」ウェハテーマリーダー、
2014年度 内閣府 ＳＩＰ『次世代パワーエレクトロニクス研究開発計画』ウェハテーマリーダーを経て、
2019年より産総研TPEC（ティーペック）材料分科会長として、民活型大型共同研究でのSiCウェハ開発を開始し、現在に至る。
専門
バルク単結晶成長技術、ウェハ加工技術、X線結晶学、鉱物学
研究の内容・キーワード
SiC単結晶成長技術開発、ウェハ加工技術開発

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